半導體石墨模具的材料要求有哪些?
發布時間:2022-05-30 10:23:28
半導體行業對石墨材料的要求特別高,細顆粒的石墨具有精度高、耐高溫、強度高、損耗低等優點,如:燒結用石墨模具。由於半導體工業中使用的石墨設備(包括加熱器及其燒結模具)需要承受反複的加熱和冷卻過程,為了延長石墨設備的使用壽命,通常要求使用的石墨材料應具有穩定的性能和抗熱震性。為了滿足上述要求,中國現已開發出一係列適用於半導體行業的石墨材料。
一、電子設備的燒結
石墨模具可用於各種型號可控矽管、三極管、二極管等的管芯燒結。如果用高頻爐熔煉法生產單晶,也要用石墨舟。
二、絕緣子燒結模具
石墨模具適用於燒結電容器絕緣體;燒結厚膜集成電路絕緣體;各類三極管、矽整流管、可控矽管座的燒結;超小型繼電器、連接器等元件的絕緣體燒結模具等。